【脉冲等离子电源APPS020】APPS050 韩国EESYS 杉本经销
深圳市杉本贸易有限公司代理美国WORNER脉冲等离子电源APPS020，它大气压等离子体用APPS系列是在常压条件下，非真空环境下，通过施加脉冲型峰值电场，产生高密度等离子体的脉冲中频电源装置，具有优异的性能。脉冲等离子电源APPS020最新价格和脉冲等离子电源APPS020详细信息还请咨询客服。
脉冲等离子电源APPS020规格：
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品牌：
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EESYS
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产品名称：
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脉冲等离子电源
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产品型号：
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APPS020
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输入电压：
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3Φ, 220Vac±10%, 50/60Hz
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输出功率：
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2千瓦
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输出电压：
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最大限度20kV
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频率：
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10 至 60 kHz
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规定：
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电压/功率
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电压波形：
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双极脉冲
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脉冲宽度：
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1~10us
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电弧检测：
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小于 3us
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控制方式：
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本地/PLC/远程
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冷却：
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强制空气
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显示类型：
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变频器/状态 LED
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温度：
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10~40℃
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尺寸：
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430*203*604
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脉冲等离子电源APPS020特点：
1.全数字 32 位 DSP 控制。
2. 形成具有高 dv/dt 的高压准脉冲。
3.脉冲频率（PFM）/脉冲幅度（PAM）/脉冲宽度（PWM）的独立可变控制结构。
4.高速电弧检测和放电控制（<3us）。
5.大面积电容等离子体放电的最佳脉冲机制（无匹配器）。
6.宽带频率可变结构（10~100kHz）。
7.峰值输出电压脉冲形成高达 20kV。
8.高效/高-可靠性 软开关拓扑应用。
9.各种输入/输出接口（RS-232C、PLC、本地）。
10.通过应用 VFD 改进监控显示功能。
11.应用水冷冷却结构（选项）。
脉冲等离子电源APPS020相关产品：
EESYS脉冲等离子电源APPS050
EESYS脉冲等离子电源APPS100
EESYS脉冲等离子电源APPS150-WC
脉冲等离子电源APPS020界面：
应用缓动盘控制和操作方便
通过应用 VFD 和状态显示 LED 提高显示可视性
各种输入/输出接口：RS-232C、PLC（模拟 D-sub 25 针接口）、本地（手动）
各种保护电路： OCP、OTP、OVP、UVP、Arc、Open/Short、通讯错误
多种控制模式：恒功率、恒压、下垂特性控制
设备设置空间优化：水冷冷却结构（选项）
自定义接口和匹配提供的功能
脉冲等离子电源APPS020应用：
半导体晶圆的混合 PR 灰化
TFT-LCD 工艺的 PR 灰化和干法蚀刻
大面积平板 LCD 玻璃表面清洗
环境处理的高压脉冲应用
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